Requisitos de los sistemas de compresores de aire libres de aceite para plantas de semiconductores
La fabricación de semiconductores exige una pureza extremadamente alta del aire comprimido; las partículas de aceite pueden contaminar las líneas de producción de obleas. Los compresores de tornillo libres de aceite, gracias a su diseño totalmente libre de lubricación por aceite, se han convertido en el equipo central de suministro de aire en salas blancas. En la región de Nantong, este tipo de equipos debe cumplir estrictamente la norma ISO 8573‑1 Clase 0, garantizando un contenido de aceite nulo en el aire de salida.
Aspectos clave en la puesta en servicio de los compresores de aire
- Calibración de los parámetros de presión y temperatura en los circuitos de aire y de refrigeración
- Verificación de la fase de los engranajes de sincronización del compresor principal y del juego entre los rotores
- Validación de la lógica de control interconectado entre el secador, los filtros y el compresor de aire
- Prueba de la tasa de fuga de las tuberías de aire limpio (≤0.1% /h)
Averías frecuentes y puntos clave de mantenimiento
Durante la operación, si se observan un aumento anormal de la temperatura de escape, fuertes fluctuaciones de presión o que el punto de rocío supere los valores límite, es necesario revisar especialmente: obstrucción del filtro de admisión, deterioro del rendimiento del ventilador de refrigeración, desgaste de los rodamientos de precisión y deriva de los sensores del sistema de control. Las reparaciones deben efectuarse en un entorno de sala blanca, y todos los elementos de sellado y los cartuchos filtrantes deben cumplir los requisitos de grado de limpieza para evitar una contaminación secundaria.
Soporte de servicios localizado
En Nantong y sus alrededores, las plantas de semiconductores están muy concentradas, por lo que resulta fundamental contar con capacidad de puesta en servicio y de mantenimiento in situ con respuesta rápida. Se recomienda establecer un mecanismo de monitorización periódica del estado, combinando el análisis de tendencias de las señales de vibración, temperatura y corriente eléctrica, para identificar de antemano los riesgos potenciales de fallo y asegurar la continuidad y estabilidad del suministro de aire a las líneas de producción.