Control neumático y accionamiento de equipos de automatización
En las líneas de producción de circuitos integrados, los equipos altamente automatizados constituyen el núcleo. El aire comprimido, como…Aire limpio y secoSe utiliza ampliamente como fuente de energía para los componentes neumáticos. Acciona diversos tipos de válvulas neumáticas, cilindros y brazos robóticos, garantizando la transferencia y el posicionamiento precisos de las obleas en cada etapa del proceso. Gracias a su rápida respuesta y a su funcionamiento suave, el aire comprimido contribuye de manera eficaz a la estabilidad del ritmo de producción y a la eficiencia operativa del equipo.
Mantenimiento del entorno de la sala limpia y control de la contaminación
La fabricación de circuitos integrados debe llevarse a cabo en salas blancas de niveles de limpieza extremadamente elevados. Los sistemas de aire comprimido contribuyen a mantener el ambiente interior al suministrar de manera continua a la sala blanca aire sometido a un filtrado riguroso.Estado de micropresión positivaEste entorno de presión positiva impide eficazmente la infiltración de aire no filtrado y de partículas procedentes del exterior en las áreas de producción. Asimismo, durante el mantenimiento de los equipos o las modificaciones locales, el aire comprimido se utiliza para establecer aislamientos temporales y controlar la dirección del flujo de aire, evitando así la contaminación cruzada.
Purificación y secado de la superficie de la oblea
Tras procesos como la limpieza húmeda de obleas y el pulido químico‑mecánico, pueden quedar en la superficie restos de líquidos o partículas microscópicas. Se utiliza aire comprimido a alta presión y extremadamente limpio para…Soplado de superficie, con el fin de eliminar las partículas adheridas. Asimismo, en determinados procesos de secado, el aire comprimido, combinado con otros medios, puede acelerar la evaporación y la eliminación de la humedad de la superficie de la oblea, evitando que los residuos de agua afecten negativamente a los posteriores procesos de litografía o grabado.
Gas para instrumentación y auxiliares de proceso
En las fábricas de semiconductores se encuentran numerosos instrumentos de medición y equipos de análisis de alta precisión. El aire comprimido proporciona a estos instrumentos y aparatos una fuente de alimentación estable.Fuente de energía neumáticaY con gas de protección, se garantiza la precisión de los datos de medición. En ciertos procesos auxiliares no críticos, como el enfriamiento interno de los equipos, el accionamiento de herramientas neumáticas y la purga y prueba de presión de los sistemas de tuberías, el aire comprimido también desempeña un papel insustituible.
Normas de calidad del aire comprimido
Dado que los circuitos integrados son extremadamente sensibles a las partículas y a la humedad, el aire comprimido utilizado en la línea de producción debe cumplir estrictos estándares de calidad. Por lo general, es necesario instalar un sistema de filtración multicapa para eliminar del aire los aceites, la humedad y las partículas de tamaño micrométrico. El aire de…Punto de rocío a presiónDebe mantenerse a un nivel extremadamente bajo para evitar la condensación en el interior de las tuberías o equipos. La tecnología de compresión sin aceite y los equipos de secado de alta eficiencia constituyen la configuración básica para garantizar la seguridad en la producción de circuitos integrados.
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